多工位硅片甩干机

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多工位硅片甩干机

作者：佚名甩干机来源：本站原创点击数：更新时间：2006-7-14

一、功能： 1. 把工件放入硅片盒中，再放在旋转支架上。 2. 双手按住启动按钮，油缸自动盖上顶盖， 3. 油缸上的感应门锁到位后，显示门锁住。顶盖的喷杆开始喷纯净水，外筒排水，筒内不允许有积水，同时旋转支架开始转动，目前转速为低速(转速一)，且可以人为的设定。(目前工艺：200转/分，2分钟)。清洗的时间可以根据需要调整。 4. 清洗结束，顶部的喷杆停止喷，开始喷加热的氮气，边喷边加热。加热的温度分为高温和低温。加热的时间可以人为设定，油浴炉的温度为110度，最高温度设定可以显示器上修改。(目前工艺：500转/分，6分钟)。加热采用油浴炉加热，加热介质为乙二醇，加热温度控制在120度以下。辅助加热系统热量足够保证顶盖打开时没有水滴下。 5. 烘干后，自动关闭电源，电机停转。油缸自动打开门盖，取出硅片盒，拿出工件检验。 6. 整个洗和甩干的时间控制在8分钟内完成。二电气系统: 1）采用变频器调速，使速度变换稳定。 2）采用PLC控制使所有的操作可靠，所有的故障都一目了然。 3）程序设计可靠，能够满足上述功能要求，并且有报警提示。 4）速度调节，温度调节，每道程序运行时间都可以在触摸屏上调整。 2. 机械的设计的要求 1) 旋转支架的直径约Φ758和外筒直径约Φ825，保证能够放下六工位的103mm，125mm，150mm，156mm硅片。 2) 采用不锈钢托盘式内筒结构确保在高速和特大离心力的作用下不变形。 3) 主要部件采用不能磁化的不锈钢原材料。 4) 旋转支架采用不锈钢框架式焊接结构，设计的寿命达到15年。 5) 放硅片盒夹具的每一批的份量就一致，并打上钢印，与甩干机的位置一一对应。 6) 顶盖采用硅像胶加热板辅助加热系统，保证顶盖烘干后干燥，不滴水。 7) 特制喷头和气液流体控制系统，要求全自动控制。 8) 甩干机左边放硅片处设置一个护栏，右边设置一个放篮筐的小推车，并与整机有可拆卸的固定。 9) 甩干机的排液口，排气口尽可能的增大，排液口增加为两个，便于排碎片。 10)桶底要容易排水，排碎片。 11)所有的气管，水管连接可靠，预留一个冲洗水枪的出水口，便于清洗。 12)氮气和纯水的进口要有流量计控制显示，便于控制。 13)电机启动和加速要平稳，减速到电机停止转动的时间迅速要利用反向制动原理能确保电机减速到停止转动时控制在15秒之内，不易碎片，不允许产生抖动。 14)整修机器机架结构紧凑，坚固。 15)动平衡精度高，整机振动小，整个运转过程要保证一根竖直的烟不倒。 3. 机械和电气的主要外购件： 1）变频器一台三菱变频。 2）PLC 一台施耐德公司。 3）液晶触摸屏施耐德公司。 4）中间继电器 HH53P，HH62P，AC220V，FUJI。 5）直流电源，台湾明纬 AC200/DC24V。 6）按钮和纽子开关 ABB。 7）电机功率：3Kw，质保一年。 8）电磁阀：台湾亚德客公司。 9）开门油缸：日本SMC公司。 4. 性能指标 1）整个冲洗和甩干的时间控制在8分钟内完成。 2）甩干程度以硅片表面没有水和水痕为干。 3）整机震动要保证竖直的烟不会倒下。 4）开、关门自动灵活。 5）所有的零件要质保一年(除易损件)。 6）整机设计寿命15年。 7）动平衡精度高，整机振动小，碎片率低。

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