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硅片甩干机 |
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作者：佚名 甩干机来源：本站原创 点击数： 更新时间：2006-7-14
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| 一、主要用途该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置） 二、主要技术特点 1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。 2.采用彩色液晶汉显监控，可存储十种用户工艺菜单。 3.结构采用净化处理技术。 4.去离子水电阻率监控。 5.防静电控制。 6.氮气温度控制。 7.腔体温度控制。 8.转轴氮气密封。 9.可选无刷电机驱动。 10.旋转载体定位。 11.故障自动诊断，显示及报警系统。 | ||||||
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