一、 主要用途：
该产品主要用于硅（芯）片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、
双腔两种结构（也可按用户要求配置）硅片的干燥和洁净化处理为主, 冲洗甩干烘干机是专门用于
清洗， 这两个系列的清洗机又有全自动和半自动两种。
二、 主要技术特点：
主要的作用是：喷淋清洗+旋转冲洗＋离心甩干＋氮气加热烘干
1.采用气压自动开门关门,平稳安全可靠。
2.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。
2.可存储十种用户工艺菜单。
3.结构采用净化处理技术。
4.去离子水电阻率监控。
5.防静电控制。
6.氮气温度控制。
7.腔体温度控制。
8.转轴氮气密封。
9.电机无极调速。
10.载体定位。
11.热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控，并有过热保护。
12.PLC全自动控制，整个过程智能化。
13.故障自动诊断，显示及报警系统。
14.可按用户特殊要求配制。 |
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